Theo hệ SI thì độ thấm được tính bằng m2. Đơn vị thường dùng cho độ thấm là darcy (D), hoặc mD (1D = 9.86923 x 10−13 m2 ≈ {\displaystyle \approx } 10−12m2). Đơn vị này được đặt theo tên của kỹ sư người Pháp Henry Darcy, là người đầu tiên mô tả dòng chảy của nước xuyên qua các bộ lọc bằng cát để cung cấp nước uống. Đơn vị cm2 đôi khi cũng được sử dụng (1 cm2 = 10−4 m2 ≈ {\displaystyle \approx } 108 D).